реактивное травление

См. также в других словарях:

• реактивное травление — reaktyvusis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive etching vok. reaktives Ätzen, n rus. реактивное травление, n pranc. décapage réactif, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

• реактивное ионное травление — Разновидность плазменного травления, при котором полупроводниковая подложка во время травления помещается электрод, питаемый ВЧ мощностью. Подложка приобретает потенциал, которым ускоряются травящие реагенты, извлеченные из плазмы по направлению… …   Справочник технического переводчика

• Травление в литографии — (англ. etching (development) in lithography)  этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении негативного фоторезиста с необлученных участков или позитивного фоторезиста с облученных участков подложки, покрытой тонкой… …   Википедия

• травление в литографии — Термин травление в литографии Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, фоторезист Определение этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

• реактивное ионное травление — reaktyvusis joninis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive ion etching; reactive ion milling vok. reaktives Ionenätzen, n rus. реактивное ионное травление, n pranc. décapage ionique réactif, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

• реактивное ионно-пучковое травление — reaktyvusis jonpluoštis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive ion beam etching vok. reaktives Ionenstrahlätzen, n rus. реактивное ионно пучковое травление, n pranc. décapage par faisceau d ions réactifs, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

• глубокое реактивное ионное травление — Метод используется для установки границ глубоких геометрических конфигураций в кремнии; необходим для формирования структур MEMS. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN DRIEdeep reactive ion etching …   Справочник технического переводчика

• Селективное травление — (или избирательное травление) термин применяющийся для обозначения травления преимущественно одного материала по сравнению с другим, который обладает гораздо меньшей скоростью травления. Иногда применяется при изготовлении гибридных интегральных… …   Википедия

• ионно-лучевое травление —  Ion Beam Etching  Ионно лучевое травление (ИЛТ)   Процесс удаления вещества с поверхности твердого тела, осуществляемый его бомбардировкой пучками ионов инертных газов. Реактивное ИЛТ (РИЛТ) удаление материала за счет химического взаимодействия… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

• décapage réactif — reaktyvusis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive etching vok. reaktives Ätzen, n rus. реактивное травление, n pranc. décapage réactif, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

• reactive etching — reaktyvusis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive etching vok. reaktives Ätzen, n rus. реактивное травление, n pranc. décapage réactif, m …   Radioelektronikos terminų žodynas